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硅基阵列非球透镜

硅基阵列非球透镜

成熟工艺能力参数范围


曲率半径/Roc

 300~6000μm

透镜直径/Diameter

195~1000μm

锥度系数/Conic

-12~0

阵列间距/Array Pitch

250/500/750μm±1μm

表面轮廓偏离度/RMS

<60nm

折射率/Refractive index

n=3.5

波长/Wavelength

1.1 – 6.2 µm (NIR to IR)

CTE

~2.6 x10-6 °C-1

应用方案

准直/会聚

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