摘要：在2021 IFOC讯石研讨会上，苏州苏纳光电有限公司总经理黄寓洋博士将发表《晶圆刻蚀硅透镜在高速光模块中的应用》主题报告，介绍高速光模块里的重要光学元件——微透镜，以及其技术在光通讯产品的应用。

 　　ICC讯 2021年9月14日-15日，第20届讯石光纤通讯市场暨技术专题研讨会(The 20th Infostone Optical Communication Market and Tchnology Conference，简称“IFOC讯石研讨会”)邀您共聚深圳国际会展中心希尔顿酒店(宝安区展丰路80号)，从七大专题深入探讨覆盖整个光通讯市场的全面内容，层层递进式分析技术发展趋势，深度融入热点话题为行业发展注入新鲜力量。

　　在2021 IFOC讯石研讨会上，苏州苏纳光电有限公司总经理黄寓洋博士将发表《晶圆刻蚀硅透镜在高速光模块中的应用》主题报告，介绍高速光模块里的重要光学元件——微透镜，以及其技术在光通讯产品的应用。

　　近年来，一种新型的、使用半导体晶圆和芯片制程制造的硅透镜正在进入该领域，并体现出很好的性能和成本优势，已经在行业龙头企业的100G/200G/400G高速光模块中得到了大批量应用。本报告将介绍这种晶圆刻蚀硅透镜的应用优势、设计原则、制造工艺、测试流程、技术难点、发展趋势以及国产化情况。

　　关于黄寓洋博士

　　清华大学电子工程系本科，中国科学院半导体所/苏州纳米所博士。近20年一直专注于光电子芯片的研发和产业化。2005年起，先后为博士研究生、博士后、副研究员、课题组长。2016年，完全辞去中科院职务，创办苏纳光电。获科技部“创新人才推进计划”、江苏省六大高峰人才、苏州市姑苏领军人才、苏州工业园区领军人才等称号。

　　关于苏州苏纳光电有限公司

　　苏州苏纳光电有限公司依托中国科学院的技术优势,以“光通信、光传感“中国芯””为企业愿景，致力于打造具有自主知识产权和核心竞争力的国产芯片，弥补国内此类芯片严重短缺、依赖进口的短板。公司现有员工100余人，建有2000平米洁净厂房，半导体设备近200台套，完全覆盖光刻、刻蚀、金属、镀膜、减薄、抛光、划/裂片、筛选、分拣、性能及可靠性测试等芯片制造全链条，芯片年生产能力1亿只。公司主要产品包括晶圆级光学芯片(硅透镜、硅基微槽/热沉、熔融石英透镜等)和半导体芯片(InGaAs PD等)。

　　苏纳光电的核心产品微透镜芯片是高速光模块里的重要光学元件。近年来，硅透镜由于其先天的技术优势(折射率大、小尺寸、球心距精度高等)和成本优势(模具费用低、产能大、单价低、交期短等)，在主流光模块厂商100G/200G/400G/800G产品中得到了大批量应用。其中，单颗非球硅透镜主要应用于发射(TX)端，放置于DML/EML等激光器后方，起光束准直或者会聚作用;阵列球硅透镜主要应用于接收(RX)端，放置于探测器前方，起光束会聚作用。

　　早期，硅透镜全部由国外公司垄断。苏纳光电经过多年技术研发投入和市场的积极开拓，现可量产Roc≤6000μm, Diameter≤1000μm, Conic≥ -12的单颗、阵列非球硅透镜，Roc≤6000μm, Diameter≤1000μm的单颗、阵列(pitch250/500/750μm)球硅透镜。公司是国内最早成功推出400G光模块用球硅透镜阵列(RX)/非球硅透镜(TX)样品并实现批量交付的厂家，现阶段可量产50余种硅基球透镜，30余种硅基非球透镜，开发的硅透镜产品超百款，在国内处于领先地位。苏纳光电的硅透镜产品已成功导入90%以上的国内光模块企业(含生产基地在国内的跨国企业)，累计服务各类客户130余家，实现了1000万只以上批量出货。

　　公司是国家高新技术企业、全国科技型中小企业、江苏省民营科技企业、苏州市“独角兽”培育入库企业。公司通过了ISO9001质量体系认证、ISO14001环境管理体系认证、职业健康安全管理体系，产品均获得RoHs报告和Reach申明(每年更新)。

　　未来，苏纳光电将继续坚持以客户为中心，坚定立足于面向传输、传感、信息类应用的光学芯片和半导体芯片，打破国外垄断，攻克“卡脖子”技术，实现高端芯片的国产化替代，并针对市场需求不断扩宽产品线，为下游客户提供性能更优、价格更低、响应更快、更有保障的芯片产品和服务，在光通信、光传感领域为下游客户持续创造核心价值。

本文转自：讯石光通讯咨询网

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